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扫描电镜的用途

扫描电镜对于固体材料的研究应用非常广泛,没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料的全面特征的描述,扫描电镜是至关重要的。 

具体功能用途归纳如下:

1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)

2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析。

1)用x射线能谱仪或波谱(EDSorWDS)采集特征x射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析,相鉴定。

2)利用背散射电子BSE基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像;

3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。

4)利用样品电流,基于平均原子序数反差,生成的化学成分相的分布图像,该图像与背散射电子图像亮暗相反。

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